三維形貌儀是一種科學(xué)儀器,是用來(lái)偵測并分析現實(shí)世界中物體或環(huán)境的形狀(幾何構造)與外觀(guān)數據(如顏色、表面反照率等性質(zhì))??煞譃榻佑|式、非接觸式、激光等類(lèi)型。
三維形貌儀的應用有三維表面輪廓測量、粗糙度測量、膜的臺階高度測量、空間分析和表面紋理表征、曲率測量、二維薄膜應力測量、表面質(zhì)量和缺陷檢測等。
本產(chǎn)品適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值,交互縮放,X-Y和線(xiàn)段剖面,三維線(xiàn)路、混合和固定繪圖,用于階越高度測量的地區差異繪圖。
三維表面形貌儀技術(shù)特點(diǎn):
1、每秒一百萬(wàn)張二維圖像
2、無(wú)損表面形貌檢測和分析
3、高精度在線(xiàn)/離線(xiàn)檢測
4、模塊化設計,超高集成靈活性
5、無(wú)需苛刻的工作環(huán)境(振動(dòng),噪聲,溫度等)
6、可應用于科研和工業(yè)領(lǐng)域
三維表面形貌儀應用領(lǐng)域:
工業(yè):
食品安全在線(xiàn)檢測
微電子集成電路表面形貌在線(xiàn)檢測
印刷電路板品質(zhì)檢測
零件器件表面劃痕損傷檢測
微機械精加工質(zhì)量控制,如鐘表,微機械器件等
電子產(chǎn)品零件在線(xiàn)監控,如手機,筆記本電腦,平板等
微流體器件三維形貌檢測
在線(xiàn)檢測設備集成
證件防偽,安檢
科研:
MEMS器件
微機械零件表面形貌觀(guān)察和測量
微光學(xué)器件(太赫茲、紅外、微波、天線(xiàn)陣列)三維形貌表征
生命科學(xué):生物組織/生物體的 三維形貌測量